有相機,天天都是紀念日!!

HDP GROUP
     tool           chamber         status              異常原因                         處理方式
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HDP103A         ALL               DOWN            連線異常              

1.install ATHENA KB fail導致CISA毀損， 目前機台無法連線，vendor目前正在處理中。

HDP101A           A                 IDLE             IN S/D P/H                  

1.test run 2 lots,data OK,tool release。

HDP201A          A/B                PM           chamber wet clean     
                                                             &change dome

1.when CHB run PTC clean,PEC發生滑片.
2.執行error recovery退回CHC(SFA00617)
3.check vacuum robot hand off、robot status、PEC surface、pedestal up&down OK.
4.CHA/B wet clean&change dome OK
5.leak rate:CHA:0.7856 mT/min CHB:0.7068mT/min
6.heat up now
7.預計6:30下dummy
8.pls中夜班trace monitor data.
9.PM time 2/14 07:00-2/16 07:00
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以前交接時總抱著快下班的心態快樂的交接，沒想到自己今天第一次要報交接，卻灰熊的緊張!!!
直到1715才把交接KEY完，都還沒仔細檢查過，就進去交接了!
還好今天忠叔跟宏杰沒有大開殺戒，問的問題不多，多謝大雄的幫忙回答...
呼..什麼事果然都要親自做過才能了解其中的奧妙...做之前的胡思亂想只會讓自己更莫名的緊張...今天還緊張到沒食慾吃中餐
希望自己能夠趕快進入狀況，趁現在賺夠...想換個稍為快樂一點的工作了...

阿!!今天是情人節，祝各位情人節快樂囉!!